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MOEMS光开关动力学过程分析

期刊名字：半导体学报
文件大小：390kb
论文作者：孙东明，董玮，郭文滨，刘彩霞，王国东，徐宝琨，陈维友
作者单位：吉林大学集成光电子学国家重点实验室
更新时间：2020-08-30
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