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GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

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