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IEC 62047-30-2017 半导体器件--微机电装置--第30部分:微机电系统压电薄膜的机电转换性能的测量方法 Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film IEC 62047-30-2017 半导体器件--微机电装置--第30部分:微机电系统压电薄膜的机电转换性能的测量方法 Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

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